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对产品外部举行巨大的正负压力,监控流量与压力的变革
接纳:1、日本FUJIKURA高精度减压阀(0.13KPa/1mmHg)
2、日本COSMO正负压力表(精度0.25%ofF.S +-1digit)
3、美国SIERRA质量流量控制器(精度0.1%)
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